VLSIStandards- американская компания, осуществляющая разработку и производство широкого ассортимента калибровочных стандартов, прослеживаемых к метрологическим стандартам NIST, и различных образцов сравнения.
Стандарты для калибровки размера частиц и загрязнений используются для сканирующих систем инспекции поверхности (SSIS) в полупроводниковой промышленности и микроэлектронике