анализаторы толщины пленок filmetrics

В данном разделе Вы найдёте информацию о самых разнообразных приборах, которые используются во многих отраслях науки и промышленности (сканирующие зондовые микроскопы (СТМ, АСМ), электронные спектрометры (РФЭС, ОЭС, УФЭС), профилометры, интерферометры и т.д.)

Совокупность таких систем позволяет решить любую исследовательскую задачу, направленную на всесторонний анализ свойств материала. Все исследовательские инструменты, представленные в данном разделе, могут быть использованы для исследования материалов на нанометрическом уровне.

Приборы Intertech Corporation позволяют проводить современные инновационные исследования и разработки на высочайшем уровне.

Производители

Ближайшие семинары

19.10.2021 - 22.10.2021
Курс повышения квалификации по методам термического анализа
г. Москва, НИТУ "МИСиС"
Читать далее»

Больше семинаров

Новые разработки

	Элементный анализ
	Молекулярный анализ
	Термоанализ и реология

В 2019 году компания KLA, мировой лидер в производстве аналитического и инспекционного оборудования для полупроводниковой промышленности и микроэлектроники, приобрела компанию Filmetrics – производителя систем измерения толщины пленок на основе рефлектометрии и бюджетных оптических профилометров.

В линейке анализаторов толщины пленок представлены разнообразные модели – от простых моделей для измерений в одной точке до автоматизированных систем, предназначенных для картирования поверхности. Кроме того, имеются специальные модели анализаторов для встраивания в системы напыления и иные производственные единицы.

Работа анализаторов (определителей) толщины Filmetrics основана на методе спектрального отражения (рефлектометрии)

Измеряя спектр света, отраженного от границы раздела прозрачной пленки и подложки, можно рассчитать толщину пленки по указанной формуле.

Для каких задач и объектов предназначены анализаторы толщины пленок Filmetrics?

Прозрачные (в видимом, ближнем ИК или УФ диапазонах) пленки толщиной от нескольких нм до единиц мм.
С известным коэффициентом преломления (метод не позволяет анализировать толщину пленок неизвестного состава)
Пленки на плоских или изогнутых поверхностях (включая линзы, лампы, оптические изделия)

В зависимости от модели анализатора и задачи может проводиться анализ в точке, картирование толщины пленки или анализ толщины при помощи оптического микроскопа. Богатый выбор различных аксессуаров делает данный метод максимально универсальным.

Анализаторы толщины позволяют не только определять толщину пленок, но и измерять поглощение или пропускание в выбранном диапазоне (например, для анализа антиотражающих покрытий в оптике).

Отличительные черты анализаторов толщины Filmetrics:

Невысокая стоимость
Надежность и воспроизводимость измерений
Модульная структура (возможность использовать разные источники и детекторы в подходящей комбинации)
Простота (не требуют отдельной инсталляции, настройка занимает буквально 5 минут после удаления упаковки прибора)
Интуитивно понятное программное обеспечение
Бесплатные онлайн-видео по настройке, запуску и использованию оборудования
Поддержка 24/7 в онлайн-режиме

Основные модели анализаторов толщины пленок Filmetrics:

Для точечных измерений

F3-sX – анализатор толщины полупроводников и диэлектриков

F3-CS – для небольших образцов

F10AR – анализатор толщины для изогнутых поверхностей и линз

F10ARc – компактный анализатор для изогнутых поверхностей

F10-RT – для одновременного определения пропускания и отражающей способности

Малый размер пятна

F40 – анализатор для встраивания в оптический микроскоп

Автоматизированное картирование

F50 – автоматизированная система картирования для пластин до 450 мм

F54 – картирование пластин с малым размером пятна