АНАЛИТИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ > ПРИБОРЫ ДЛЯ АНАЛИЗА ПОВЕРХНОСТИ
Компания Thermo Noran, входящая в состав корпорации Thermo Electron, – один из ведущих мировых производителей EDX-приставок к электронным микроскопам. Первая EDX-система была произведена в 1976 году, с тех пор, внедряя собственные инновационные разработки, компания постоянно совершенствует и модернизирует системы. INTERTECH Corporation эксклюзивно представляет в странах СНГ оборудование для энергодисперсионного микроанализа производства Thermo Noran - Noran Sistem Six.
В течение последних 25 лет VG Scientific является мировым лидером в области производства электронно-зондовых приборов для анализа поверхности. INTERTECH Corporation эксклюзивно представляет в странах СНГ оборудование для анализа поверхности производства Thermo VG Scientific: Escalab 250, Microlab 350, Sigma Probe и др..
|
| ESCALAB 250 |
|
– это многофункциональный XPS микрозонд, позволяющий одновременно получать электронно-оптические изображения сканируемой области и XPS-спектры выбранного участка (imaging XPS).
Для спектроскопии и получения изображения ESCALAB 250 использует одну систему электронной оптики и один анализатор, что позволяет получать электронно-микроскопическое изображение исследуемого участка с разрешением <3 mm за несколько минут одновременно с регистрацией XPS-спектра, при этом площадь исследуемого участка составляет от 120х120 mm до 8х8 mm. Разрешение при сканировании <20 mm. Встроенная непосредственно в камеру анализа видеокамера и оптический микроскоп позволяют наблюдать образец непосредственно в процессе исследования.
ESCALAB 250 комплектуется
- Полусферическим анализатором, радиусом – 150 mm, таким образом существенно расширяется диапазон сканирования – от 0 до 5 000 eV, при этом шаг сканирования составляет 6 meV (0-1,500 eV), 12 meV (0-3,000 eV), 24 meV (0-5,000 eV). Полностью биполярные линзы анализатора позволяют уже в стандартной поставке использовать ISS (Ion Scattering Spectroscopy). Для анализа тонких поверхностных слоев также может применяться методика ARXPS. Минимальный угол сбора излучения ±0,5 градуса. Стандартный держатель образцов (манипулятор) может перемещаться по трем осям с разрешением 5 mm и вращаться в двух плоскостях. Угол наклона составляет ±90 градусов.
- (дополнительно) Рентгеновским источником как с модернизированным монохроматором, так и с двойным анодом. По заказу пользователя возможна поставка анодов из различных материалов. Конструкция прибора позволяет подстраивать/перемещать анод непосредственно в процессе работы, что делает время работы анода сравнимым с общим временем работы всего прибора.
- (дополнительно) высококачественными модулями Field Emission AES/SEM/SAM, UPS, ToF SIMS без потерь качества XPS-анализа. При XPS-анализе размер исследуемой области меняется от 20 mm до 1000 mm. Предельное спектральное разрешение (FWHM на Ag 3d5/2) <=0,45 eV. ESCALAB 250 комплектуется ионными пушками для нейтрализации заряда и травления. Для очистки/травления используется ионная пушка ЕХ05. Энергия пучка – 100 eV - 5 keV, диаметр – 150 mm, плотность тока пучка – 5 mA/cm2.
- Современным РС-совместимым компьютером на базе процессора Intel Pentium IVTM и системой сбора и обработки данных “AvantageTM”, разработанной с использованием стандартов Windows NTTM. Данное программное обеспечение обеспечивает максимальную автоматизацию сбора данных, результаты экспериментов легко экспортируются в программы, работающие в среде WindowsTM.
- Широким набором модулей для оперирования и подготовки образцов без нарушения вакуума основной системы: от простых запирающихся (блокируемых) вакуумных шлюзов, до многоцелевых подогреваемых/охлаждаемых камер (170 К-1000 К), с возможностью дополнительной обработки образцов. Скорость откачки камеры PREPLOCK/основной системы – 250 л/мин., максимальный вакуум – 5х10-9mbar. Для решения узкоспециализированных задач по заказу может быть разработан отдельный модуль.
|
|
| MICROLAB 350 |
– сканирующий ОЖЕ-спектрометр (AES) высокого разрешения. В стандартном исполнении обладает возможностями сканирующей Оже –микроскопии (SAM), сканирующей электронной микроскопии (SEM), Field Emission AES.
Для дополнительного анализа могут использоваться методики рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS), рентгеновской спектроскопии (EDX), Backscattered Electron Detection.
MICROLAB 350 комплектуется
- Полусферическим анализатором диаметром 150 мм, что обеспечивает плавно изменяемое разрешение по энергии от 0,02% до 2,0%. Пространственное разрешение SAM (Scanning Auger Microscopy) при этом составляет 12 nm @ 25keV 1nA, а пространственное разрешение SEM (Scanning Electron Microscopy) в области анализа Оже может меняться в пределах 7-35 nm, в зависимости от условий анализа. Максимальное увеличение составляет 500 000 крат. Детектор может комплектоваться шестью каналотронами. Рабочее расстояние линз анализатора 33 мм.
Чувствительность Оже-анализа (при использовании Cu LMM пика при 10keV/10nA с разрешением по энергии 0,6%) составляет 900 000 счетов в секунду, отношение сигнал/шум в этих условиях составляет 900/1. При увеличении разрешения по энергии до 0,06% и использовании тех же условий (Cu LMM пик при 10keV/10nA) чувствительность составляет 50 000 счетов в секунду, отношении сигнал/шум 260/1.
- Съемной электронной пушкой, с возможностью дифференциальной откачки. Рабочее расстояние 15 мм, стабильность пучка высокая – дрейф энергии <2% в час.
- Ионной пушкой, которая полностью управляется программно при помощи системы AVANTAGE. Энергия пучка – 100 eV - 5 keV, минимальный диаметр пятна – 120 mm, диаметр при токе 1mA и 4 keV – 200 mm, плотность тока пучка – 3 mA/cm2, максимальный ток >5mA при 4 keV. Эта же пушка применяется и при анализе распределения концентраций элементов по глубине (Focused Ion Beam milling).
Система сбора данных AVANTAGE – новая разработка Thermo VG Scientific. Система разработана для платформы Windows NTTM, что позволяет использовать РС-совместимую аппаратную часть. Система полностью обеспечивает управление установкой, сбор и обработку данных.
Держатель образцов скомбинирован с моторизованным манипулятором, перемещение по осям: ±9mm, ±6mm, +5/-15mm для осей X, Y и Z соответственно. Образец может быть до 38мм в диаметре и 8 мм толщины. Образец может наклоняться на угол –20О+90О. Гарантированный дрейф образца во время анализа – менее 5 нм/минуту. Камера анализа имеет гарантированную двойную магнитную защиту, вакуумная система обеспечивает давление 5х10-10mbar.
Камера подготовки образцов имеет камеру быстрого ввода, возможность нагрева/охлаждения (170 К-1000 К) образцов, возможность разламывания. Отдельно может быть оборудована ионной пушков для травления/очистки образца. Встроены держатели для трех образцов. Скорость откачки камеры PREPLOCK – 250 л/мин., максимальный вакуум – 5х10-9mbar. Для решения узкоспециализированных задач по заказу может быть разработан отдельный модуль.
|
|
| MULTILAB |
- семейство относительно недорогих гибких комбинированных систем, создаваемых по специальным требованиям заказчика.
|
|
| SIGMA PROBE |
– высокоэффективный XPS-спектрометр для анализа малых участков поверхности. Являясь продолжением зондов X-, M- и S-Probe серии, SigmaProbe вобрал в себя все лучшие качества и достоинства данных приборов.
Sigma Probe комплектуется
- Полусферическим анализатором радиусом – 150 mm, что существенно расширяет диапазон сканирования – от 0 до 5 000 eV, при этом шаг сканирования составляет 6 meV
(0-1,500 eV), 12 meV (0-3,000 eV), 24 meV (0-5,000 eV). Новый монохроматор, специально разработанный VG Scientific для SigmaProbe, позволяет проводить анализ с пространственным разрешением <15mm. Анализ малых областей – 4000 cps @ 20 mm при 0.55eV. При XPS-анализе предельное спектральное разрешение (FWHM на Ag 3d5/2) не более 0,47 eV. Конструкция SigmaProbe позволяет подстраивать/перемещать анод непосредственно в процессе работы, без нарушения вакуума основной системы. что делает время работы анода сравнимым с общим временем работы всего прибора.
Новый блок электронной оптики, разработанный и запатентованный VG Scientific, называющийся Radian Lens, обеспечивает высокую чувствительность прибора за счет сбора фотоэлектронов, излучаемых образцом на большом телесном углу. Таким образом увеличивается чувствительность прибора и уменьшается время счета (сбора информации для одного спектра). Также, за счет этой системы линз, SigmaProbe позволяет проводить анализ профиля концентрации элемента по глубине, не разрушая и не перемещая/качая образец. Методика ARXPS также может быть реализована и за счет наклона образца. Моторизованный, полностью автоматический держатель образца (манипулятор) позволяет перемещать образец размером до 70х70х25 (90х90х20) в трех плоскостях и вращать его в двух плоскостях, что обеспечивает максимальную гибкость при выборе участка анализа. Угол наклона составляет ±45 градусов, разрешение при сдвигании - 0,5 mm. Дополнительно может применяться столик для закрепления 12" полупроводниковых пластин.
- Ионными пушками для нейтрализации заряда и травления. Для очистки/травления используется ионная пушка ЕХ05. Энергия пучка – 100 eV - 5 keV, диаметр – 200 mm, плотность тока пучка – 5 mA/cm2, максимальный ток >5mA.
- (дополнительно) Высококачественными модулями Field Emission AES/SEM/SAM, UPS, ToF SIMS без потерь качества XPS-анализа.
- Современным РС-совместимым компьютером на базе процессора Intel Pentium IVTM и системой сбора и обработки данных “AvantageTM”, разработанной с использованием стандартов Windows NTTM. Данное программное обеспечение обеспечивает максимальную автоматизацию сбора данных, результаты экспериментов легко экспортируются в программы, работающие в среде WindowsTM.
- (дополнительно) Широким набором модулей для оперирования и подготовки образцов без нарушения вакуума основной системы: от простых запирающихся (блокируемых) вакуумных шлюзов –камер быстрого ввода, до многоцелевых подогреваемых/охлаждаемых камер (170 К-1000 К), с возможностью дополнительной обработки образцов. Скорость откачки камеры PREPLOCK/основной системы – 250 л/мин., максимальный вакуум – 5х10-9mbar. Для решения узкоспециализированных задач по заказу может быть разработан отдельный модуль.
|
|
| THETA PROBE |
|
- спектрометр, совмещающий достоинства Sigma Probe с уникальной возможностью ARXPS.
|
|
| THETA 300 |
|
- XPS/ARXPS-спектрометр для исследования пластин диаметром до 300мм.
|
|
| СИСТЕМНЫЕ КОМПОНЕНТЫ |
|
(для XPS, ARXPS, AES, SAM, UPS, ISS, LEED, RHEED и STM):
анализаторы
рентгеновские источники
ультрафиолетовые источники
электронные пушки
ионные источники
RHEED-источники
LEED-оптика
программное обеспечение
аксессуары
|
Thermo Electron
 |
Изготовление сайта - Wilmark Design |
|
