Профилометр Dektak® 8 сочетает в себе высокую воспроизводимость, технологию работы с малыми силами и возможности анализа и получения 3D изображений для характеристики поверхности микроэлектромеханических систем (MEMS), полупроводников и различных тонких/толстых пленок. Воспроизводимость измерений высоты ступенек составляет 7.5 Å, (1 ), диапазон по вертикали до 1 мм. Длина скана – до 200 мм, что позволяет измерять планарность и плоскостность. Размер образца до 300 мм (8 дюймов). Новая опция N-Lite, реализованная только в профилометрах Dektak's, обеспечивает малую силу давления, до 0.03 мг. Это открывает возможности работать с мягкими материалами, не оставляя на них царапин, и использовать сверхострые стилусы, применяемые для анализа деталей рельефа субмикронного масштаба. Стилусы с высоким отношением длина/ширина могут проникать в глубокие бороздки, измерять глубину травления мелкотраншейной изоляции (STI), углубления на микроэлектромеханических системах (MEMS).

Программное обеспечение для Dektak 8
Программа Dektak реализует функции анализа через удобный интерфейс Windows XP. Специальные функции и расширенные возможности Вы найдете в дополнительных специальных пакетах:

Thin-film stress-detection software измеряет величину стресса при растяжении и сжатии на пластинах и других материалах. Поставляется вместе со специальным основанием для подвеса пластин диаметром до 300 мм на трех точках.

Пакет Vision Дополнительная программа Vision – одна из лучших программ анализа данных – строит изображения 3D, содержит более 200 инструментов анализа, фильтрации и широкий спектр параметров. Визуализирует данные в виде графиков 2D и 3D, строит профили сечения, гистограммы, выполняет преобразование Фурье и т.д. Позволяет увеличивать изображения на весь экран, вращать их, накладывать сетку, модифицировать палитру.

Новый профилометр Dektak 150 – самый мощный и продвинутый профилометр на сегодняшний день – поставляется в 3 возможных конфигурациях:
- стандартная конфигурация с основанием 4x 4 дюйма (100 мм) и ручным перемещением и поворотом основания дает 2D профили поверхности
- конфигурация с основанием, автоматизированным по Y, дает 3D профили поверхности
- наличие 6-дюймового основания (150x150 мм) добавляет автоматизацию и возможность программирования, для получения данных со множества участков (до 200).

Новый дизайн позволяет увеличить толщину образца до 6 дюймов, длину скана – до 55 мм, максимальную высоту рельефа – до 512 мкм в стандартном исполнении (до 1 мм – опция). Повторяемость измерений высоты ступени улучшена до 6 Ангстрем.