|
Оптические профилометры MicroXAM |
Оптические профилометры MicroXAM являются приборами широкого спектра применений. Они используются в таких разнообразных областях исследований как: измерение толщины покрытий, исследований сложных МЭМС и т.д.
Принцип действия оптического профилометра (интерферометра) заключается в том, что свет, излучаемый с источника, отражаясь от исследуемой и опорной поверхностей, образует интерференционную картину, которая затем регистрируется видеокамерой. Затем данные обрабатываются и набор интерфереционных картин преобразуется в карту уровней поверхности высокого разрешения.
Семейство оптических профилометров MicroXAM включает в себя два прибора: MicroXAM-100 и MicroXAM-1200.
MicroXAM-100
Профилометр MicroXAM-100 разработан для исследователей, которые заинтересованы в получении быстрых и повторяемых результатов с помощью инструмента, не обремененного излишними уровнями сложности.
MicroXAM -100 объединяет фазосмещающую технологию интерферометра и оптический микроскоп, что позволяет проводить бесконтактные 3D измерения поверхностной шероховатости с субнанометровым разрешением. Сочетая в себе множество функций, прибор предоставлет пользователю обширные возможности для исследования поверхности. Одной из них является возможность получать трехмерные изображения поверхности высокой четкости для широкого диапазона высот рельефа - как для относительно гладких поверхностей, так и для шероховатых.
Преимущества MicroXAM-100:
- 3D рендеринг поверхности с возможностью извлечение профиля отдельной линии сканирования;
- Вычисления шероховатости, неровности, толщины покрытий и других геометрических характеристик;
- Простое ориентирование по образцу благодаря интуитивно понятному интерфейсу и наличию видеокамеры;
- Перенос данных из окна измерений без остановки процесса сканирования;
-
Опционально доступно программное обеспечение для математического анализа изображений SPIP™
-
Интуитивно понятный интерфейс, применяемый в программном обеспечении MicroXAM-100, позволяет пользователю быстро осваивать процедуры измерения и максимально эффективно использовать оборудование.
-
Площадка сканирования интерферометра MicroXAM-100 может варьироваться от 100Х100 мкм до 1000Х1000 мм (в зависимости от используемого объектива).
Диапазон высоты рельефа, который поддается сканированию с применением MicroXAM-100, составляет 250 мкм. Этот предел может быть расширен до 10 мм с применением режима "сшивания" по Z-оси. В этом режиме допускается соединение вместе в матрицу 4х4 изображений для расширения поля сканирования. "Сшивание" происходит с помощью автоматического алгоритма (либо в ручном режиме, где пользователю доступны настройки объединения).
Полный пакет 3D аналитического программного обеспечения для работы MicroXAM-100 с Windows®, Intel процессором и TFT плоским монитором. Аналитический пакет обеспечивает расчет поверхностной шероховатости, волнистости, высоту ступеньки и другие параметры поверхности.
Анализ полученнных данных возможно так же проводить и удаленно, тем самым позволяя проводить непрерывные измерения - повышать производительность измерений.
Ниже приводятся основные технические данные профилометра MicroXAM - 100.
Измерительные характеристики
|
Воспроизводимость измерения вертикальной ступеньки
|
1 нм (1?)
|
Погрешность измерений
|
|
Вертикальный диапазон сканирования
|
250 мкм (10 мм опционально)
|
Скорость вертикального сканирования
|
До 7,2 мкм/с
|
Площадь обзора
|
101х101 мкм – 1,0х1,0 мм
|
Характеристики оборудования
|
Разрешение видеокамеры
|
480х480
|
Диапазон перемещения предметного столика
|
100х100 мм
|
Наклон предметного столика
|
±6°
|
Виброизоляция
|
пассивная
|
Увеличение объективов
|
50х, 20х, 10х, 5х
|
Физические размеры
|
Длина
|
406 мм
|
Ширина
|
304 мм
|
Высота
|
431 мм
|
Вес прибора
|
22,7 кг
|
Вес при транспортировке
|
68,0 кг
|
Дополнительные опции MicroXAM-100:
-
Программное обеспечение для офлайн анализа данных. Позволяет обрабатывать полученные данные на удаленном компьютере. Так же возможно создание программы и очереди обработки полученных данных и загрузка этой программы на компьютер, подключенный к профилометру.
Основные области применения:
- Исследование текстуры поверхности;
- Измерение высоты вертикальной ступени поверхности;
- Исследования шероховатости и дефектности поверхности;
- Исследования напряжений в тонких плёнках;
- Биологические исследования;
- Микроэлектромеханические системы;
- 3D визуализация топографии поверхности;
- Материаловедение и технология новых материалов.
MicroXAM-1200
Оптический профилометр MicroXAM-1200 объединен с младшей моделью MicroXAM-100 принципом действия, однако, является более продвинутым по своим измерительным характеристикам прибором.
Преимущества MicroXAM-1200:
- Доступен широкий выбор объективов с коэффициентом увеличения от 2,5х до 50х, что позволит рассмотреть самые мелкие детали и увидеть макрокартину поверхности одновременно. С помощью четырехпозиционного переключателя коэффициент увеличения может изменяться для обеспечения требуемого масштаба и угла обзора.
- Стандартная видеокамера может быть заменена на цифровую видеокамеру высокого разрешения.
- Предметный столик перемещается с помощью сервопривода. Доступны различные размеры предметных столиков - от 4 до 8 дюймов.
- Мощный пакет программного обеспечения для анализа поверхности MapVue AE обеспечивает сбор, обработку и визуализацию поверхности. С помощью её развитого интерфейса вы сможете наложить на полученное изображение фильтры, соединить несколько изображений в одно, рассчитать широкий спектр марко и микро 2D и 3D параметров.
Измерительные характеристики
|
СКО измерений
|
0,01 нм (1?)
|
Воспроизводимость измерений
вертикальной ступеньки
|
1 нм или 0,1% (1?)
|
Класс точности
|
0,1
|
Вертикальный диапазон сканирования
|
10 мм
|
Скорость вертикального сканирования
|
До 7,2 мкм/с
|
Площадь обзора
|
82х62 мкм – 5,3х4,0 мм
|
Характеристики оборудования
|
Разрешение видеокамеры
|
752х480 для аналоговой видеокамеры
1000х1000 для цифровой видеокамеры (опция)
|
Диапазоны перемещения
предметного столика X-Y
|
100х100 мм
150х150 мм
200х200 мм
|
Диапазон отклонения зонда
|
±7°
|
Привод вращения видеокамеры
|
±90°, червячная передача
|
Персональный компьютер
|
Pentium 4, 160 Gb HDD, 1 Gb RAM,
CD-RW/DVD ROM,
Windows XP Professional OS, 19’’ LCD
|
Коэффициент увеличения объективов
|
50х, 20х, 10х, 5х, 2,5х
|
Применения MicroXAM-1200
|